微机电系统（MEMS）是将微电子技术与微机械系统融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它尺度更小的，在纳米范围的类似技术被称为纳机电系统（NEMS）。常见的产品包括压力传感器、温湿度传感器、麦克风、微马达、微泵、微振子等以及它们的集成产品。

微流控（Microfluidics）技术是一种在微米尺度空间精确控制和操控微尺度流体，将生物、化带格式表格学等大型实验室的基本功能微缩到一个数平方厘米芯片上的技术，又称为芯片实验室(Lab-on-a-Chip)或微流控芯片技术。由于它在生物、化学、医学等领域的巨大潜力，微流控芯片已经发展成为一种技术平台，既可以应用于化学分析、生物医学分析、食品检验，又可以作为微反应器进行药物、纳米粒子、微球等合成，还能作为器官芯片，用于仿真人体器官中的功能单元。微流控器件最主要的加工方法是来自于微纳加工的光刻技术和来自于表面图案化的软光刻技术。